크라이오 펌프는 응축수 펌프라고도 하는 가스를 응축하기 위해 저온 표면을 사용하는 진공 펌프입니다. 크라이오펌프는 가장 높은 펌핑 속도와 가장 낮은 극한 압력으로 깨끗한 진공을 얻을 수 있으며 반도체 및 집적 회로의 연구 및 생산은 물론 분자 빔 연구, 진공 코팅 장비, 진공 표면 분석 장비, 이온 임플란트 및 공간 시뮬레이션. 장치 등
펌핑 원리 크라이오펌프는 액체 헬륨이나 냉장고에 의해 매우 낮은 온도로 냉각되는 냉각판이 장착되어 있습니다. 가스를 응축하고 응축수의 증기압을 펌프의 최종 압력 이하로 유지하여 펌핑 효과를 얻습니다. 저온 펌핑의 주요 기능은 저온 응축, 저온 흡착 및 저온 포집입니다.
크라이오펌프
① 저온응축 : 기체분자가 냉각판 표면이나 응축된 기체층에 응축되며 평형압력은 기본적으로 응축수의 증기압과 같다. 수소를 펌핑할 때 냉각판 온도가 더 낮습니다.
②저온 흡착 : 한 분자층의 두께로 냉각판에 코팅된 흡착제 표면에 기체 분자가 흡착됩니다. 흡착을 위한 평형 압력은 동일한 온도에서 증기압보다 훨씬 낮습니다.
③ 극저온 트랩핑: 추출 온도에서 응축될 수 없는 가스 분자는 응축성 가스의 성장 층에 의해 묻히고 흡착됩니다.