매체의 공급 방법에 따라 크라이오 펌프는 다음 유형으로 나뉩니다.
저장 탱크 극저온 펌프: 저온 매체(액체 헬륨)가 펌프의 저장 탱크에 직접 주입되어 펌핑 목적을 달성하기 위해 가스를 응축합니다.
저장 탱크 크라이오 펌프의 장점은 펌프의 크기가 작고 진동이없고 소음이없고 작동이 용이하다는 것입니다.
저장탱크 극저온펌프의 단점은 운용비용이 높고, 저온매체의 각 충진 사용시간이 짧고, 장기간 연속운전을 필요로 하는 진공시스템은 주기적으로 작업을 보충해야 한다는 점이다. 매체이며 저온 매체의 공급 조건에 의해 제한됩니다.
공정 크라이오펌프 : 펌프내의 크라이오패널 냉각관이 냉동팽창기에 연결되어 외부 배관을 통해 극저온 매체(가스 헬륨)를 크라이오펌프에 공급하고 크라이오패널의 열을 흡수하여 냉동 압축기로 복귀 닫힌 순환을 형성합니다. 펌프의 부피가 크고 파이프 라인이 복잡하며 파이프 라인의 냉각 손실이 큽니다.
공정 크라이오펌프의 장점은 냉각력이 크며 대기 부피나 대형 진공챔버 제거에 가장 적합하다는 것이다.
소형 냉장고 크라이오펌프: 밀폐형 소형 냉장고 크라이오펌프는 저온 펌프 본체, 공기 추출 크라이오패널, 복사열 차폐판, 냉장고 및 압축기로 구성됩니다.
소형 냉장고의 극저온 펌프와 공정의 극저온 펌프의 가장 큰 차이점은 냉장고의 1차, 2차 콜드 헤드가 방열 스크린과 콜드 플레이트에 직접 연결되고, 냉장고와 압축기는 상온, 고온(또는 저온)입니다. ) 압축 가스 매체, 저온 매체의 운송 문제가 없으며 공정 크라이오 펌프 및 저장 탱크 크라이오 펌프의 장점이 있습니다. 현재 이상적인 청정 초고진공 펌프입니다.
소형 냉장고 크라이오펌프는 박막 제조, 마이크로일렉트로닉스 기술, 고에너지 물리학, 소형 링 다이 장비 및 기타 산업 분야에서 널리 사용됩니다.