주입 액체 헬륨 cryopump와 닫힌 사이클 헬륨 냉장고 cryopump에 저온 펌프.
사출 식 극저온 펌프
주로 액체 헬륨 용기, 펌프 몸체 및 액체 질소의 배플 판 공동 부분과 연결됩니다. 액체 헬륨의 소비를 줄이기 위해 그 동안 이중 절연 벽과 진공이있는 액체 헬륨 용기의 외벽. 펌프가 사전 PA 압력에서 액체 질소로 펌핑되고 콜드 플레이트의 헬륨 가스 응축이 4.2K에서 작동합니다. PA의 수에 대한 수소 헬륨의 분압은 사전 펌핑되어 펌프는 PA 이하의 최고 압력을 얻을 수 있습니다. 액체 헬륨 용기가 6650 kPa로 감압되면 액체 헬륨 온도를 2.3 K로 낮출 수있어 하한 압력을 얻을 수 있습니다.
폐 사이클 가스 헬륨 냉장고 용 극저온 펌프
그것은 70 년대에 등장한 새로운 유형의 극저온 펌프였습니다. 이 펌프는 헬륨을 소비하지 않으며, 작동하기 쉽고 유지 보수가 쉽고 널리 사용되고 있습니다. 냉장고의 냉각 매체는 가스 헬륨이며 일류 냉각 판 온도는 50 ~ 100K이고, 전형적인 적용은 수증기와 다른 가스를 응축시키는 데 사용되는 65K이며 2 단계 냉각 판의 온도는 10 ~ 20K이며 질소, 산소 및 아르곤 가스를 응축하는데 사용됩니다. 2 단계 냉각 판의 내부 표면은 활성탄으로 코팅되어있다. 활성탄은 저온에서 헬륨, 네온 및 수소에 대한 흡착력이 강합니다. 차가운 판은 산소가없는 구리로 만들어지며 표면은 방 사면을 감소시키기 위해 거울면의 정도로 연마됩니다. 펌프의 한계 압력은 PA이고 작동 압력 범위는 PPA이며 사전 펌핑 압력은 1 PPA입니다. 제품 생산 속도는 초당 60000 리터에 달했습니다. 또한 프로세스의 특성에 따라 배기 공기 냉각 판을 펌핑 된 컨테이너에 배치 할 수 있으며 펌핑 속도는 초당 106 리터에 도달 할 수 있습니다.
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