Cryopumps는 또한 오늘날의 생활에서 널리 사용됩니다. 많은 사람들이 냉동 펌프에 대해 들어 못했을 것입니다. Cryopumps는 저온 표면 응축 가스를 사용하는 진공 펌프의 일종입니다. 장점은 펌핑 전력이 가장 크다는 것입니다. 오늘은 극저온 펌프 작동 방식을 살펴 보겠습니다.
냉동 펌프의 작동 원리는 가스를 사용하여 배기 효과를 얻기 위해 초저온 표면에 물리적으로 흡착하는 것입니다. 깨끗한 진공을 얻는 효과적이고 빠른 방법입니다.
냉동 펌프는 매우 높은 진공 (10-11Pa)에 도달 할 수 있으며 빠른 배기 속도, 오일 없음 및 무제한 설치 방향의 장점을 가지고 있습니다.
냉동 펌프의 첫 번째 단계 냉기 단계에서는 차폐 커버와 배플이 설정되고 온도는 80K로 유지됩니다. 이차 냉각 단계는 15K로 유지되었고, 극저온 덮개와 활성탄 흡착제가 그 위에 놓여졌다.
수증기는 80K 차폐 및 80K 배플에서 응고됩니다. 질소, 산소 및 아르곤은 15K 극저온 덮개에서 응고됩니다. 수소, 헬륨 및 네온은 15K 극저온 커버 내부의 흡착제에 흡착됩니다. 냉동 펌프는 모든 가스를 배출 할 수 있지만 흡착 된 가스의 양이 너무 많으면 배기 속도가 감소합니다. 이 경우 냉동 펌프를 가열하고 흡착 된 가스를 방출 한 다음 다시 사용해야합니다.
냉동 펌프의 특징
냉동 펌프는 응축수 펌프라고도하는 저온 표면을 사용하여 가스를 응축시키는 진공 펌프입니다. 냉동 펌프는 가장 높은 펌핑 속도와 가장 낮은 궁극적 인 압력으로 깨끗한 진공을 얻을 수 있으며 반도체 및 집적 회로의 연구 및 생산뿐만 아니라 분자 빔 연구, 진공 코팅 장비, 진공 표면 분석 장비, 이온 주입기 및 공간 시뮬레이션 장치 등에 널리 사용됩니다.
냉동 펌프는 시스템에서 가스를 제거하기 위해 매우 낮은 온도 냉각 표면 (≤77K)의 응축 효과를 사용하는 진공 펌프입니다. 1960 년대 이래로 극저온 펌핑은 진공의 획득 및 적용에 점점 더 널리 사용되었습니다.
냉동 펌프는 깨끗한 진공 펌프입니다. 극저온 매체는 펌프의 흡입 표면을 냉각시키고 밀폐 된 용기에 저장되거나 순환되는 냉매 일 뿐이므로 진공 공간과 접촉하지 않습니다. 이 기능은 깨끗하고 오일프리 진공 시스템이 필요한 특정 진공 시스템에 매우 중요합니다.
Cryopumps는 대부분의 가스에 대해 매우 낮은 부분 압력과 매우 높은 펌핑 속도를 달성 할 수 있습니다. 냉동 펌프가 액체 헬륨 매체에서 작동 할 때, 그것은 또한 큰 실제 펌핑 용량과 비 선택적 펌핑 (헬륨 제외)의 장점을 가지고 있습니다.
Cryopumps는 반도체 및 집적 회로, 분자 빔 연구 및 기타 분야의 연구 및 생산에 중요한 역할을합니다. 그것은 깨끗한 진공 펌프입니다. 위의 내용은 냉동 펌프의 작동 원리에 관한 것입니다.