저온 펌프는 냉장고 또는 매우 낮은 온도의 콜드 플레이트로 냉각 된 액체 헬륨으로 배열됩니다. 응축수는 가스를 응축하고 응축수의 증기 압력을 펌프의 한계 압력 이하로 유지하여 펌핑 효과를냅니다. 극저온 펌핑의 주요 기능은 저온 응축, 극저온 흡착 및 극저온 포집입니다. 극저온 응축 : 냉각 판 표면에서의 가스 분자의 응축 또는 응축 가스 층에서의 응축으로, 평형 압력은 기본적으로 응축 물의 증기압과 같습니다. 콜드 플레이트의 온도는 공기를 펌핑 할 때 25K보다 낮아야하며, 펌핑 할 때 콜드 플레이트의 온도는 낮아야합니다. 극저온 응축의 응축 층 두께는 약 10 밀리미터이다. 극저온 흡착 : 단일 분자 층 두께 (센티미터 순서)로 냉각 판에 코팅 된 흡착제의 표면에 흡착 된 기체 분자. 흡착 평형 압력은 동일한 온도에서 증기의 흡착 압력보다 훨씬 낮다. 증기압이 수소의 대기압과 같은 20K에서와 같이, 20K 흡착 평형 압력에 대한 활성탄의 수소 흡수는 낮게 취해진 다. 극저온 흡착을 통해 저온에서 배기가 능합니다. 극저온 포집 (cryogenic trapping) : 흡착 온도에서 응축 될 수없는 가스 분자는 증가하는 응축 가스 층에 의해 묻혀서 흡착된다.
일반적으로, 펌프의 한계 압력은 냉각 판 온도 하에서 응축 된 가스의 증기압이다. 온도가 120K 일 때, 물의 증기압은 PP의 증기압보다 낮다. 온도가 20K 일 때, 헬륨, 네온 및 수소를 제외한 다른 기체의 증기압은 PA의 증기압보다 낮다. 그러나 컨테이너와 저온 냉각 판 온도를 펌핑하면 압력 펌프가 응축수의 증기압보다 높아집니다. 실온에서 용기의 경우, 저온 판은 응축수 증기압에 대한 펌프의 한계 압력의 4 배인 20K입니다.
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